上海微电子装备有限公司（SMEE）成立于2002年3月，位于上海张江高科技园区，SMEE是在国家科技部和上海市政府共同推动下，由国内多家企业集团和投资公司共同投资组建的高科技有限责任公司。 SMEE主要致力于大规模工业生产的中高端投影光刻机研发、生产、销售与服务，SMEE产品可广泛应用于集成电路制造与先进封装、微纳制造、下一代平板显示器电路制造、高亮度半导体照明等制造领域。 十多年来，SMEE通过不断学习和创新，从单一的集成电路前道工艺制造用光刻机研制发展成多领域多用途的光刻机产品系列，目前已研制出应用于前道IC制造、先进封装、MEMS、LED、OLED-TFT等领域的产品系列，其中先进封装光刻机系列产品已实现量产并远销海外市场。SMEE已经从一个研发型企业走向了研发、市场并重的现代化高科技企业。